في الدوائر المتكاملة الهجينة ذات الأغشية السميكة ، تلعب الركيزة دورًا في حمل مكونات الأغشية السميكة والتوصيلات والمكونات الخارجية والتغليف.في الدوائر عالية الطاقة ، تلعب الركيزة أيضًا دورًا في تبديد الحرارة.متطلبات دارة الفيلم السميك للركيزة تشمل: التسطيح والنعومة العالية ؛أداء كهربائي جيدالموصلية الحرارية العاليةمطابقة معامل التمدد الحراري مع المواد الأخرى ؛خصائص ميكانيكية جيدةثبات عاليأداء معالجة جيدرخص.بشكل عام ، يتم اختيار 96٪ ركيزة سيراميك الألومينا لدائرة الفيلم السميك.يمكن اختيار ركيزة أكسيد البريليوم إذا كانت هناك حاجة إلى ظروف تبديد حرارة أفضل.
في الدوائر المتكاملة الهجينة ذات الأغشية السميكة ، يتم تشكيل الشبكات السلبية بشكل أساسي عن طريق طباعة معاجين مختلفة على الركيزة في الرسومات والتلبيد عند درجة حرارة عالية.وتشمل المواد المستخدمة معجون موصل ومعجون عازل ومعجون مقاوم.
يعتبر موصل الغشاء السميك جزءًا مهمًا من الدائرة المتكاملة الهجينة ذات الأغشية السميكة.إنه يلعب دور التوصيل البيني للأجهزة النشطة ، والأسلاك متعددة الطبقات ، وقطب المكثف ، ومنطقة اللحام بالرصاص للمكونات الخارجية ، والمواد الطرفية للمقاومة ، والمقاومات منخفضة المقاومة ، والشريط الصغير ذو الأغشية السميكة ، وما إلى ذلك. تستخدم الدوائر المتكاملة الهجينة البلاديوم والمواد الفضية ، وتستخدم معاجين الذهب في بعض الدوائر العسكرية والدوائر عالية الدقة ، وتستخدم معاجين الفضة في بعض الدوائر ذات المتطلبات المنخفضة.
معجون المقاوم للأغشية السميكة هو أيضًا جزء مهم من الدائرة المتكاملة الهجينة ذات الأغشية السميكة.يعد المقاوم للفيلم السميك المصنوع من عجينة المقاوم للأغشية السميكة أحد المكونات الأكثر استخدامًا والأكثر أهمية.يتكون معجون مقاومة الأغشية السميكة من مكون وظيفي ومكون ربط وحامل عضوي ومعدل.بشكل عام ، يتم تحديد معجون مقاومة DuPont.
يتم تطبيق عجينة عازلة ذات غشاء سميك لتحقيق الفيلم السميك للمكثف الخارجي ذي الأغشية السميكة ، والطبقات المتعددة لموصل الخط المتدرج ، ومعلمات أداء المقاوم ذي الأغشية السميكة لا تتأثر بالبيئة الخارجية.وهي تشمل معجون عازل سعوي ، معجون عازل كهربائي متعدد الطبقات ومتقاطع ، ومعجون عازل مغلف.
الوقت ما بعد: فبراير 06-2023